洁净室等级标准

空气洁净度等级

大于或等于表中粒径的大浓度限值(pc/m³)

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

1

10

2

2

100

24

10

4

3

1000

237

102

35

8

4（十级）

10000

2370

1020

352

83

5（百级）

100000

23700

10200

3520

832

29

6（千级）

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7（万级）

352000

83200

2930

8（十万级）

3520000

832000

29300

9（一）

35200000

8320000

293000